重大突破!苏州纳米所研发5nm激光光刻技术!

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重大突破!苏州纳米所研发5nm激光光刻技术!_腾讯新闻

近日,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张子旸与国家纳米中心研究员刘前合作,在Nano Letters上发表了题为5 nm Nanogap E [详细]

2020-07-19 04:55
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