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振动传感器
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清华大学MEMS
振动传感器
样品通过验收
MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上的传感器。具有体积小、
[详细]
2018-10-06 13:50
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