随着三星率先宣布已经成功出货了100万个业界首款基于极紫外光(EUV)技术的10nm级(D1x)DDR4模块,目前已经完成了全球客户的评估,并将为高端PC、移动、企业级服务器和数据中心应用中使用更先进的EUV工艺之后,EUV光刻产业链迎来了巨大利好。
据中国闪存市场ChinaFlashMarket数据,2019年半导体存储市场规模达1080亿美元,其中DRAM销售额达620亿美元,而三星则是DRAM产业龙头企业,2019年三星在DRAM市场占有率为45%,因此,三星推动DRAM产业进入EUV工艺,对产业链相关企业尤其是EUV光刻胶企业意义重大。
来源:中国闪存市场ChinaFlashMarket
自去年7月日本对韩国针对包括EUV光刻胶在内的三项半导体原材料实施出口管制以来, EUV光刻胶纷纷考虑在韩设厂。目前,有消息称,三星从日本JSR公司与比利时微电子中心IMEC合作成立的位于比利时的公司进口EUV光刻胶。
此外,杜邦之前也宣布将投资2,800万美元于韩国忠清南道天安设立EUV PR工厂,目的就是为了打进三星供应链,此与目前三星多元化EUV PR供应基调契合。
目前,JSR和TOK分别在韩国忠清北道梧仓、仁川松岛设有工厂。其中,JSR在光刻胶领域为全球龙头,TOK则是深获三星好评,预料JSR、TOK及杜邦获得三星DRAM用EUV光刻胶青睐的可能性相当高,当然,除了考虑韩国设厂外,业者也考虑是否依赖韩国内,拥有工厂的业者进行代工生产(OEM)。