8.5代TFT-LCD用ITO靶材
■记者手记
科技创新，高校迸发澎湃动力
东南网7月6日讯（福建日报记者 游笑春 张颖）
全方位推动高质量发展超越，创新，是引领发展的“第一动力”。
在科技创新体系中，高校一直以来都扮演重要角色。这里不仅活跃着众多创新人才，在开展多学科交叉基础研究、前沿技术研究和颠覆性技术创新方面也具备优势。
着力攻克关键核心技术，促进产学研深度融合，勇于攀登科技高峰，是时代赋予科技工作者的重任，也是高校科技创新的明确方向。
应该看到，我国科技创新正逐渐从以高校科研院所为主导的“先科研，后产业化”模式，转向以企业为主导的全产业链技术创新模式。今年省两会上政府工作报告也提出，要完善“基础研究+技术攻关+成果产业化+科技金融”全过程创新生态链。这意味着高校、科研院所、企业、新型研发机构需要通力合作，优势互补，互相激发出创新潜能。
尽管如此，成果转化难、论文至上、缺乏容错机制、薪酬待遇低等桎梏仍在束缚高校科技创新成果的涌现，改革势在必行。
自2015年8月《促进科技成果转化法》出台后，高等教育领域开始密集出台与科技成果转化相关的政策文件。2016年，教育部办公厅印发《促进高等学校科技成果转移转化行动计划》。2017年，我省教育厅出台《福建教育系统服务我省创新驱动发展战略行动计划》，明确提出建立高校科技成果转移转化的支持机制、激励机制和专业化服务体系，放管结合，加快提高高校科技成果转化率。
2019年10月，针对高校和省属科研院所反映的政策不好用、用不好等问题，省科技厅、教育厅、财政厅和人社厅等四部门联合印发《关于进一步促进高校和省属科研院所创新发展政策贯彻落实的七条措施》，针对调研中发现的一系列制约性、核心问题，直击转化痛点，对诸多细节作出规定，大力支持高校、省属科研院所试点开展科技成果权属改革。
当前，我省高等教育领域正积极落实科技成果转化有关规定，在科研经费管理、科研仪器设备采购、人才引进和管理、科研工作量计算考核、科研业绩奖励等方面出台大量实施细则和管理办法，为激发高校科研人员科技创新活力营造良好制度环境。
另一方面，从高校实践上看，近年来，我省高校在加强科研攻关的基础上，逐步构建从科学研究到实验开发再到应用推广的创新链，努力将攻关成果转化为生产力。如我省高校正大胆创新、主动作为，推进产教融合，挂牌成立了诸多产业学院，开展不同的人才培养模式改革。校企合作、校地合作、校行合作，高校正在努力探索实践中，精准谋划产教融合的建设模式和发展路径。
2019年10月，《国家产教融合建设试点实施方案》发布，我省被列入国家首批试点。方案提出促进教育和产业体系人才、智力、技术、资本、管理等资源要素集聚融合、优势互补，打造支撑高质量发展的新引擎。这意味创新高等教育产教融合机制已势在必行。
在这种方向和背景下，我们更应思考高校科技创新的新路径。下一步，我们不仅需要制定完善、切实可行的法律和政策来支持和引导高校创新，推动高校科研评价体系采用多元化标准，还要不断增加研发经费支持高校科技创新，特别是在基础研究方面；高校也要探索科技创新的新模式、新方式，加强校内外资源整合，探索学科之间的协同创新，加强对交叉学科群和科技攻关团队的支持，培养造就更多具有国际水平的科技人才和创新团队。
把论文写在祖国的大地上，把科技成果应用在实现现代化的伟大事业中，高校科技创新大有可为。
研发ITO靶材多项关键技术，突破国外技术壁垒，助推显示面板产业重要材料迈上国产化道路
高品质靶材“福建造”
东南网7月6日讯（福建日报记者 陈旻 文/图）
近日，在福州滨海新城临空经济区，福建阿石创新材料股份有限公司（以下简称“阿石创”）溅射靶材生产基地里，全新的PVD镀膜材料智能化生产线即将进入安装。生产线投产后，溅射靶材的生产能力将扩大到年产1200吨平板显示溅射靶材，并进入智能制造时代。
阿石创的主要产品包括ITO(氧化铟锡)靶材、钼靶、铝靶、铜靶、硅靶等。其中，“TFT-LCD用高品质ITO靶材”，是LCD（液晶显示器）以及新一代显示器(OLED、QLED、MicroLED等)的关键基础材料。ITO靶材多项关键技术的突破，来自福建工程学院教授、福建省新材料制备与成形技术重点实验室主任戴品强领衔的“福建阿石创新材料股份有限公司专家工作站”。这一科研成果转化，突破了国外技术壁垒，实现了高品质靶材的国产化，让阿石创一举成为京东方、群创光电、蓝思科技、伯恩光学等数十家世界级行业巨擘的战略伙伴，并在2017年成功登陆A股市场；项目成果获得2018年度福建省科技进步一等奖。
“ITO靶材对LCD面板的质量、生产效率和良品率起关键性作用，其品质要求非常高。”戴品强告诉记者，2015年之前，国产ITO靶材存在纯度不够、坯体密度不足等问题，严重影响ITO薄膜的透过率、电阻率和均一性，只能用在太阳能薄膜、低精度触摸屏等中低端场合。
当时，国内高品质ITO靶材基本依赖进口，其核心技术长期被日本、韩国等国的大企业垄断。“这与我国LCD生产大国的地位很不相称。”戴品强说，全世界80%铟锭（ITO靶材的原材料）都在中国生产，国外公司从中国进口铟锭，生产成高品质ITO靶材，再高价出口到中国，我国没有议价权且供货期长。
决心自主研发生产ITO靶材的阿石创，与长期合作的福建工程学院开始合作研发。2012年6月，“福建阿石创新材料股份有限公司专家工作站”通过认定，聘请戴品强教授作为工作站的领衔专家，带领建站专家团队9人，与企业进站技术团队15人进行研发。
“要生产出高品质的ITO靶材，在我们面前有两大关键难题。”戴品强说，一是靶材由靶坯和背板组成，靶坯ITO是氧化物，背板是金属铜，二者热膨胀系数差别大，绑定时容易造成靶材开裂、铜背板变形，越大尺寸的靶材越为严重；二是高品质靶材的纯度要求大于99.99%，内部晶粒平均晶粒尺寸在4～5微米，且组织均匀，相对密度>99.7%，但国内当时的技术和装备都难以生产如此高纯度、高致密度和高均匀性靶材。
针对这些难题，工作站的专家团队从2012年起开始科研攻关。经过4年多的不懈努力，团队创新研发出了高纯纳米粉制备技术和粉体均匀化、ITO靶材成型及烧结、ITO靶材绑定等三项关键技术，在高品质ITO靶材关键核心技术上取得了全方位突破。
“对于靶材绑定技术瓶颈，我们通过特有的‘ITO靶材搅拌丝摩擦发热’技术实现大面积连续移动焊合，开发出金属过渡层制备新工艺，设计制造了相关装备，达到了高品质靶材整体翘起不超过±2mm的要求。”戴品强说，“针对纯度、致密度、均匀性等问题，我们采用‘多工序协同调控粉体性能’新方法，提出了高纯纳米粉制备技术、粉体均匀化技术，研发了相关装备，并研发了高致密度、低水分坯体成型新技术，设计、制造了靶材生坯成型装置，并开发了富氧烧结关键技术，有效攻克了靶材烧结时高温脱氧和晶粒粗大等技术难题。”
2016年，应用这些新技术与生产设备进行试生产的产品，通过了福州京东方光电科技有限公司严格的导入测试验证，产品的薄膜颗粒数量、面电阻、膜厚、透过率等各项性能指标，均达到国外同类先进靶材的水平，完全可以替代国外进口产品，成功用于TFT-LCD生产。
2017年，阿石创自主创新开发的TFT-LCD用高品质ITO靶材，正式投入量产。自此，我国突破了大尺寸高端ITO靶材的国外技术壁垒，在显示面板产业重要材料国产化的道路上又前进了一步。
“学校的科研力量通过就近服务靶材生产企业，为显示器产业集群就近提供关键基础材料，完善产业链，提升企业的核心竞争力，助推我省产业迈向中高端。”戴品强说，科研成果对面板产业、有色金属资源等都有深远影响。
2017年，“福建阿石创新材料股份有限公司专家工作站”被授予福州市首批“十佳专家工作站”荣誉称号。如今，专家工作站正继续携手企业，共同攻克新的技术难题、培养技术骨干。
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